藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐石墨配件

熱交換法(Heat Exchanger Method)
簡(jiǎn)稱HEM 法。熱交換法是一種為了生長(zhǎng)大尺寸藍(lán)寶石而發(fā)明的晶體生長(zhǎng)技術(shù)。1970年Schmid和Viechnicki首先運(yùn)用熱交換法生長(zhǎng)出大塊的藍(lán)寶石晶體。其原理是利用熱交換器來帶走熱量，使得晶體生長(zhǎng)區(qū)內(nèi)形成一下冷上熱的縱向溫度梯度，同時(shí)再藉由控制熱交換器內(nèi)氣體流量(He冷卻源)的大小以及改變加熱功率的高低來控制此溫度梯度，借此達(dá)成坩堝內(nèi)熔湯由下慢慢向上凝固成晶體之目的，圖1為HEM法晶體生長(zhǎng)過程簡(jiǎn)圖。圖2 a所示為HEM爐內(nèi)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)圖，圖3所示為HEM爐熱場(chǎng)配置簡(jiǎn)圖，圖4為HEM爐鳥籠式石墨加熱器，圖5為HEM爐的電控簡(jiǎn)圖。

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