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產(chǎn)品中心
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固化氈一體石墨導流筒

 

 

 

固化氈一體導流筒
【產(chǎn)品材料】  使用的是固化保溫氈
【產(chǎn)品指標】  RFI3000
【密       度】  0.25-0.45g/cm3
【其       他】  金屬雜質含量<75ppm,無揮發(fā)物,導熱系數(shù)<0.4w/m.k
引導單晶爐內氬氣的流動,減少了爐體上部的氬氣流動,進而減少了SiO在單晶爐上部的沉積。導流筒內外兩側分流槽的設置改變保護氣的流動形態(tài),穩(wěn)定了保護氣的流動,降低氣體的流動對單晶生長的影響,以上都有效提高了單晶生長的穩(wěn)定性,提高產(chǎn)品穩(wěn)定性

產(chǎn)品詳情
石墨導流筒強度低,導熱系數(shù)高,使用壽命短,成晶率低,運輸,使用過程中易損壞,越來越難滿足直拉單晶硅生產(chǎn)中對導流筒使用性能和可靠性能的要求。同國內其它廠家相比,我司生產(chǎn)的炭炭導流筒主要特點體現(xiàn)在以下兩點:
1.梯度密度,整體設計,外層密度高(1.0-1.5g/cm3),芯部密度低(﹤0.5g/cm3);
2.有利于爐體內形成溫度梯度,利于單晶生長,抗熱震性能好,能耐氣流沖刷;
3.減少爐體上部氬氣流動渦胞,進而減少SiO在單晶爐上部的沉積
產(chǎn)品核心技術
1.設計與制備:根據(jù)制坯所選用原材料厚度和變形性能按導流筒尺寸與相關參數(shù)進行數(shù)學建模,計算不同位置上原材料所需形狀和尺寸,合理下料,減少損耗;
2.整體導流筒工藝:整體性好,使用可靠性高,使用壽命長,更換操作方便,可提高成晶率,降低拉晶能耗10%以上。

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